发明名称 Drahtführungsrolle für Drahtsägen mit Datenerfassungssystem
摘要 Eine Drahtführungsrolle (1) zur Verwendung in Drahtsägen zum Herstellen von Halbleiterscheiben weist ein Innenrohr (2) aus Metall oder faserverstärktem Kunststoff, ein Außenrohr (3) aus faserverstärktem Kunststoff, welches das Innenrohr (2) konzentrisch umgibt, und zwei Krafteinleitungselemente (4, 4') auf, welche an den Stirnseiten des Innenrohrs (2) und des Außenrohrs (3) angeordnet sind, und das Innenrohr (2) und das Außenrohr (3) kraftschlüssig verbinden. Die Krafteinleitungselemente (4, 4') sind jeweils aus einem ringförmigen Grundkörper (41, 41') aus Metall und einem mit diesem verbundenen scheibenförmigen Verbindungskörper (42, 42') aus Metall oder faserverstärktem Kunststoff gebildet. Der scheibenförmige Verbindungskörper (42, 42') stellt die kraftschlüssige Verbindung zwischen dem Innenrohr (2) und dem ringförmigen Grundkörper (41, 41') und der ringförmige Grundkörper (41, 41') die kraftschlüssige Verbindung zwischen dem scheibenförmigen Verbindungskörper (42, 42') und dem Außenrohr (3) her.
申请公布号 DE102011083175(A1) 申请公布日期 2013.03.28
申请号 DE20111083175 申请日期 2011.09.22
申请人 VOITH PATENT GMBH 发明人 MAURER, THOMAS;KROLL, PETER;WENGER, ANDREW;BASSMANN, MARTIN
分类号 B23D57/00;B23D59/00;B24B27/06;B28D1/02;H01L21/304 主分类号 B23D57/00
代理机构 代理人
主权项
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