发明名称 Halbleiterchiptestverfahren und Halbleiterchiptestvorrichtung
摘要 Ein Halbleiterchiptestverfahren beinhaltet: (a) Testen der elektrischen Eigenschaften jedes Halbleiterchips in der Form von Wafern oder in der Form von Chips, die auf einer vorbestimmten Anzahl von Halbleiterwafern, die zueinander eine bestimmte Beziehung aufweisen, gebildet sind und Bestimmen, ob der Halbleiterchip nicht fehlerhaft oder fehlerhaft ist; (b) Berechnen eines Prozentsatzes von Halbleiterchips, die als fehlerhaft bestimmt sind, als einen fehlerhaften Bruchteil für jede Waferadresse, basierend auf den Bestimmungsresultaten über die Halbleiterchips auf der vorbestimmten Anzahl von Halbleiterwafern, wobei die Waferadressen die jeweiligen Positionen der Halbleiterchips auf den Halbleiterwafern anzeigen; und (c) Verändern eines Bestimmungsresultates über einen Halbleiterchip, der als nicht fehlerhaft bestimmt ist, auf fehlerhaft, wobei der Halbleiterchip an einer Waferadresse ist, von der bestimmt wurde, dass sie einen fehlerhaften Bruchteil bei einem Grenzwert oder über dem Grenzwert aufweist.
申请公布号 DE102012216641(A1) 申请公布日期 2013.03.28
申请号 DE201210216641 申请日期 2012.09.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP. 发明人 HAMAGUCHI, TAKUYA;TSUNODA, TETSUJIRO;KANAZAWA, SHOKO
分类号 H01L21/66;G01R31/28 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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