| 发明名称 |
正型光致抗蚀剂剥离剂组合物 |
| 摘要 |
本发明提供了一种正型光致抗蚀剂剥离剂组合物，它包括：a)1-20重量份的N，N-二乙基羟胺；b)1-70重量份的二甘醇单烷基醚；c)1-5重量份的[式1]所示的化合物；d)1-5重量份的[式2]所示的化合物；[式1]，其中R’为氢，或具有1至4个碳原子的烷基，[式2]。本发明正型光致抗蚀剂剥离剂组合物不腐蚀基板、且能有效地除去光致抗蚀剂膜，因此具有很强的实用性。 |
| 申请公布号 |
CN102998915A |
申请公布日期 |
2013.03.27 |
| 申请号 |
CN201210246206.3 |
申请日期 |
2012.07.17 |
| 申请人 |
张峰 |
发明人 |
张峰 |
| 分类号 |
G03F7/42(2006.01)I;C07D295/185(2006.01)I;C07D211/16(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种正型光致抗蚀剂剥离剂组合物，其特征在于包括：a)1-20重量份的N，N-二乙基羟基胺；b)1-70重量份的二甘醇单烷基醚；c)1-5重量份的[式1]所示的化合物；d)1-5重量份的[式2]所示的化合物；<img file="FSA00000749877500011.GIF" wi="607" he="348" />[式1]，其中R’为氢，或具有1至4个碳原子的烷基，<img file="FSA00000749877500012.GIF" wi="478" he="414" />[式2]。 |
| 地址 |
315171 浙江省宁波市鄞州区集士港镇商贸路 |
