发明名称 |
一种晶体硅太阳能电池三层减反射膜及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开一种晶体硅太阳能电池三层减反射膜,是由三层膜构成,第一层为太阳能电池晶体硅表面的二氧化硅薄膜,厚度为15-25nm,折射率为1.46-1.47;第二层膜为二氧化钛薄膜,厚度为40-60nm,折射率为2.08-2.36,第三层薄膜为氮化硅薄膜,厚度为20-70nm,折射率为2.1-2.5。本发明三层减反射膜可以降低电池表面对光的反射,提高晶体硅太阳能电池的光电转换效率。 |
申请公布号 |
CN103000706A |
申请公布日期 |
2013.03.27 |
申请号 |
CN201210401707.4 |
申请日期 |
2012.10.22 |
申请人 |
江苏晨电太阳能光电科技有限公司 |
发明人 |
张晨;张森林 |
分类号 |
H01L31/0216(2006.01)I;B32B9/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0216(2006.01)I |
代理机构 |
南京经纬专利商标代理有限公司 32200 |
代理人 |
张惠忠 |
主权项 |
一种晶体硅太阳能电池三层减反射膜,其特征在于:其是由三层膜构成,第一层为太阳能电池晶体硅表面的二氧化硅薄膜,厚度为15‑25nm,折射率为1.46‑1.47;第二层膜为二氧化钛薄膜,厚度为40‑60nm,折射率为2.08‑2.36,第三层薄膜为氮化硅薄膜,厚度为20‑70nm,折射率为2.1‑2.5。 |
地址 |
223700 江苏省宿迁市泗阳县经济开发区文成东路206号 |