发明名称 一种晶体硅太阳能电池三层减反射膜及其制备方法
摘要 本发明公开一种晶体硅太阳能电池三层减反射膜,是由三层膜构成,第一层为太阳能电池晶体硅表面的二氧化硅薄膜,厚度为15-25nm,折射率为1.46-1.47;第二层膜为二氧化钛薄膜,厚度为40-60nm,折射率为2.08-2.36,第三层薄膜为氮化硅薄膜,厚度为20-70nm,折射率为2.1-2.5。本发明三层减反射膜可以降低电池表面对光的反射,提高晶体硅太阳能电池的光电转换效率。
申请公布号 CN103000706A 申请公布日期 2013.03.27
申请号 CN201210401707.4 申请日期 2012.10.22
申请人 江苏晨电太阳能光电科技有限公司 发明人 张晨;张森林
分类号 H01L31/0216(2006.01)I;B32B9/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I 主分类号 H01L31/0216(2006.01)I
代理机构 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人 张惠忠
主权项 一种晶体硅太阳能电池三层减反射膜,其特征在于:其是由三层膜构成,第一层为太阳能电池晶体硅表面的二氧化硅薄膜,厚度为15‑25nm,折射率为1.46‑1.47;第二层膜为二氧化钛薄膜,厚度为40‑60nm,折射率为2.08‑2.36,第三层薄膜为氮化硅薄膜,厚度为20‑70nm,折射率为2.1‑2.5。
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