用于投影曝光装置的标线以及使用它的曝光方法

摘要

本发明为用于投影曝光装置的标线以及使用它的曝光方法，为了提供能够增加每个晶圆的芯片数量并且实现高精确对准的标线以及使用标线的曝光方法，第一对准标记布置区域(8)和第二对准标记布置区域(9)在多芯片区域(2)的两侧提供，以便使第一对准标记布置区域的尺寸与第二对准标记布置区域的尺寸之和与芯片区域(1)的尺寸相同。

主权项

一种用于投影曝光装置的标线，包括：标线衬底；矩形芯片区域，设置在所述标线衬底的表面上并且各由沿第一方向的边以及沿正交于所述第一方向的第二方向的边围绕；矩形第一对准标记布置区域，设置在所述表面上并且由沿所述第一方向的边和沿所述第二方向的边围绕；矩形第二对准标记布置区域，设置在所述表面上并且由沿所述第一方向的边和沿所述第二方向的边围绕；在所述矩形芯片区域周围提供的划线区域，其中所述划线区域没有布置在其中的对准标记和测试元件组图案；以及经提供使得其分别与所述矩形第一对准标记布置区域的沿所述第二方向的边以及所述矩形第二对准标记布置区域的沿所述第二方向的边相邻的划线区域，其中：所述矩形第一对准标记布置区域经由所述划线区域与包括多个矩形芯片区域的多芯片区域的所述第二方向上的一个端部相邻；所述矩形第二对准标记布置区域经由所述划线区域与所述多芯片区域的所述第二方向上的另一个端部相邻；所述矩形第一对准标记布置区域和所述矩形第二对准标记布置区域各包括布置在其中的至少一个对准标记；以及所述矩形第一对准标记布置区域的沿所述第二方向的每个边的长度与所述矩形第二对准标记布置区域的沿所述第二方向的每个边的长度之和等于或小于每个所述矩形芯片区域的沿所述第二方向的每个边的长度。