用于等离子体腔室的电极的多相射频电源

摘要

以不同的相位偏移将射频电源耦合至等离子体腔室的电极(20-26)上的不同射频连接点(31-34)。优选地，不同的射频连接点的数量和相应的相位偏移的数量是至少四个，而且射频连接点的位置分布在电极的两个正交维度（例如，X和Y轴）。优选地，由各自的射频电源供应器(41-44)给每一各自的射频连接点提供功率，其中每个电源供应器使电源供应器的相位与共同基准射频振荡器(70)同步化。

主权项

一种用以将射频电源耦合至等离子体腔室的设备，包括：等离子体腔室，所述等离子体腔室包含电极，其中所述电极包括至少四个射频连接点，所述至少四个射频连接点位于相对于所述电极的表面上X轴和Y轴二者的不同位置，其中所述“X轴和Y轴”指所述电极的表面上两个正交几何维度；和多个射频电源供应器，所述射频电源供应器包括第一射频电源供应器，其中每一各自的射频电源供应器具有输出，所述输出连接到各自的一个射频连接点；其中，所述第一射频电源供应器在所述第一射频电源供应器的输出产生第一射频电源信号；和其中除了所述第一射频电源供应器之外，每一各自的射频电源供应器在射频电源供应器各自的输出产生各自的射频电源信号，所述射频电源信号具有与所述第一射频电源信号相同的频率和相对于所述第一射频电源信号不同的非零相位偏移。