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发明名称 SURFACE EXAMINATION APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 EP1008883(B1) 申请公布日期 2013.03.27
申请号 EP19980928544 申请日期 1998.06.18
申请人 NANOSYSTEM SOLUTIONS, INC. 发明人 HAGA, KAZUMI;SAKAI, MOTOSHI;USHIYAMA, ZENTA
分类号 G01B11/255;F21V5/04;G01B11/30;G01M11/00;G01N21/88;G02B19/00;G02B21/06;G02B27/00 主分类号 G01B11/255
代理机构 代理人
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