| 发明名称 | 上下料机（管式PECVD） | ||
| 摘要 | 1.本外观设计产品的名称：上下料机（管式PECVD）。2.本外观设计产品的用途：本设备属于太阳能硅片加工自动化设备领域，实现将承载盒中的未经PECVD处理的硅片装入石墨舟中，同时实现将石墨舟中的经PECVD处理过的硅片装入承载盒。3.本外观设计的设计要点：在于产品各视图的形状。4.最能表明设计要点的图片或者照片：主视图。 | ||
| 申请公布号 | CN302373035S | 申请公布日期 | 2013.03.27 |
| 申请号 | CN201230515873.8 | 申请日期 | 2012.10.26 |
| 申请人 | 无锡先导自动化设备股份有限公司 | 发明人 | 王燕清;周昕 |
| 分类号 | 15-99 | 主分类号 | 15-99 |
| 代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人 | 刘品超 |
| 主权项 | |||
| 地址 | 214028 江苏省无锡市新区国家技术开发区新锡路20号 | ||