| 发明名称 | 研磨垫整理盘 | ||
| 摘要 | 本实用新型揭示了一种研磨垫整理盘，该研磨垫整理盘包括：包括固定装置、至少一个硬质刷和至少一个金刚石部件；所述硬质刷包括刷毛和刷头，所述刷毛通过刷头固定于所述固定装置的下表面；所述金刚石部件包括金刚石和连接件，所述金刚石通过所述连接件固定于所述固定装置的下表面；所述金刚石部件位于所述硬质刷旁；所述刷毛底端到所述固定装置上表面的距离大于所述金刚石底端到所述固定装置上表面的距离0.1mm～5mm。本实用新型得到的研磨垫整理盘能有效地对研磨垫平整化并进行清理。 | ||
| 申请公布号 | CN202825547U | 申请公布日期 | 2013.03.27 |
| 申请号 | CN201220520662.8 | 申请日期 | 2012.10.11 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 | 发明人 | 齐宝玉;马智勇;孙涛;林先军 |
| 分类号 | B24B53/017(2012.01)I | 主分类号 | B24B53/017(2012.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种研磨垫整理盘，包括固定装置、至少一个硬质刷和至少一个金刚石部件；所述硬质刷包括刷毛和刷头，所述刷毛通过刷头固定于所述固定装置的下表面；所述金刚石部件包括金刚石和连接件，所述金刚石通过所述连接件固定于所述固定装置的下表面；所述金刚石部件位于所述硬质刷旁；所述刷毛底端到所述固定装置上表面的距离大于所述金刚石底端到所述固定装置上表面的距离0.1mm～5mm。 | ||
| 地址 | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号 | ||