一种防止气体反冲的装置以及金属有机化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种防止气体反冲的装置以及金属有机化学气相沉积设备，该装置包含进气部分、和进气部分相连的主体部分、以及和主体部分相连的排气部分；进气部分内设有进气通道，主体部分内设有主体通道，排气部分内设有排气通道；主体通道分别与进气通道、排气通道相连通，以使气体进入进气通道后经过主体通道再由排气通道排出；主体通道内设有一组第一挡板和一组第二挡板，第一挡板和第二挡板相对设置。金属有机化学气相沉积设备包含反应腔，抽气泵和该防止气体反冲的装置。本实用新型在气流气压出现波动或者尾气端压力高于反应腔中压力时，阻止回流反冲的气体携带颗粒等反应副产物进入反应区域，保证反应区域的清洁。

主权项

一种防止气体反冲的装置，其特征在于，该装置包含进气部分（1）、和进气部分（1）相连的主体部分（2）、以及和主体部分（2）相连的排气部分（3）；所述的进气部分（1）内设有进气通道（11），主体部分（2）内设有主体通道（21），排气部分（3）内设有排气通道（31）；所述的主体通道（21）分别与进气通道（11）、排气通道（31）相连通，以使气体进入进气通道（11）后经过主体通道（21）再由排气通道（31）排出；所述的主体通道（21）内设有一组第一挡板（4）和一组第二挡板（5），所述的第一挡板（4）和第二挡板（5）相对设置。