处理液供给及管路冲洗系统

摘要

本发明公开了一种处理液供给及管路冲洗系统，包括化学液供应管路、纯水供应管路和气体供应管路，各个管路之间的连接和工艺模块。本发明的系统采用化学液与纯水独立提供的方式，向工艺模块分别提供化学液与纯水，并具有纯水与气体冲洗功能，使得该系统结构简单，功能齐全。

主权项

一种处理液供给及管路冲洗系统，其特征在于，包括：化学液供应管路（3），其一端是化学液管路供应端（1）并且设置有化学液供应控制手阀（2）；化学液循环三通阀（4），其中间端与所述化学液供应管路（3）的另一端连接；化学液循环管路（5），其一端与所述化学液循环三通阀（4）的常开端连接；纯水供应管路（10），其一端是纯水管路供应端（8）并且设置有纯水供应控制手阀（9）；纯水管路循环三通阀（13），其中间端与纯水供应控制手阀（9）的出口端连接；纯水循环管路（14），其一端与所述纯水管路循环三通阀（13）的常开端连接；气体供应管路（31），其一端是气体管路供应端（21）并且设置有气体供应控制手阀（22）；化学管路采样阀（6），其采样端与所述气体供应管路（31）连接，其进口端与所述化学液循环三通阀（4）的常闭端连接；第一纯水管路采样阀（17），其采样端与所述气体供应管路（31）连接，其进口端与所述纯水管路循环三通阀（13）的常闭端连接；工艺模块（27），其第一端通过化学管路常闭二通阀（7）与所述化学管路采样阀（6）的出口端连接，其第二端通过第一纯水管路常闭二通阀（20）与所述第一纯水管路采样阀（17）的出口端连接。