含硫化合物气体净化滤材装置与方法

摘要

本发明提供一种含硫化合物的气体净化滤材装置，其包含：至少一个催化剂吸脱附单元，其以并联及/或串联设置；及一臭氧产生单元，其可提供臭氧给该催化剂吸脱附单元，作为加强催化剂吸附功能或低温氧化分解反应之用。本发明亦提供一种空气中含硫化合物的气体净化方法。本发明的含硫化合物的气体净化装置与方法可处理较难处理的含硫化合物的气体，例如DMS或DMDS，可解决传统处理装置不能或不适于处理某些含硫化合物的气体的问题，并可增加催化剂效率，延长催化剂寿命，适于高风量低浓度排放的高科技晶圆制造、光电面板制造业、涂装印刷业及相关化工业。

主权项

一种含硫化合物的气体净化滤材装置，其包含：至少一个催化剂吸脱附单元，其以并联及/或串联设置，其中该催化剂吸脱附单元中充填有催化剂吸附材料；一臭氧产生单元，其可提供臭氧于该催化剂吸脱附单元，作为加强催化剂吸附功能或低温氧化分解反应之用；及一水气或蒸气产生单元，其可提供水气或蒸气于该催化剂吸脱附单元，与臭氧产生单元所提供的臭氧一并作为催化剂吸附活化再生还原反应之用。