膜厚计测方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统

摘要

一种膜厚计测方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统，其目的在于减轻作业员的负担，并且提高制造效率。通过线型照明器(3)，对在基板(W)上成膜的透明导电膜或透明光学膜照射直线照明光，并由摄像机检测由透明导电膜或透明光学膜反射的直线反射光，对检测出的反射光的色评价值进行计测，使用将色评价值和膜厚建立关联的膜厚特性，求出与计测的色评价值对应的膜厚。

主权项

一种膜厚计测方法，其能对透明导电膜及透明光学膜的至少一方进行膜厚计测，对在生产线所搬运的基板上成膜的透明导电膜或透明光学膜从膜面侧照射光，对由所述透明导电膜或所述透明光学膜反射的反射光进行检测，对检测出的反射光的色评价值进行计测，使用将色评价值和膜厚建立关联的膜厚特性，求出与计测的所述色评价值对应的膜厚，对具有相互不同的已知膜厚的多个样本分别计测所述色评价值，并通过将计测的该色评价值和所述膜厚建立关联来作成所述膜厚特性。