发明名称 静电放电结构及其制造方法
摘要 本发明提供具有与晶片通孔结构的连接的静电放电(ESD)结构及其制造方法。该结构包括被串联电连接到晶片通孔的静电放电(ESD)网络。更具体地,ESD电路包括接合衬垫和位于该接合衬垫下方的ESD网络。该ESD电路还包括晶片通孔结构,该晶片通孔结构被直接串联电连接到ESD网络且还被电连接到VSS。
申请公布号 CN101930973B 申请公布日期 2013.03.27
申请号 CN201010198536.0 申请日期 2010.06.07
申请人 国际商业机器公司 发明人 E·G·盖布里斯莱希;S·H·沃尔德曼
分类号 H01L27/02(2006.01)I;H01L23/60(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I 主分类号 H01L27/02(2006.01)I
代理机构 北京市中咨律师事务所 11247 代理人 于静;杨晓光
主权项 一种静电放电结构,包括静电放电网络且被串联电连接到晶片通孔,其中所述静电放电网络包括位于接合衬垫下方的电感线圈,所述电感线圈具有小于10欧姆的电阻且被构造为承载1安培到10安培的电流,其中所述晶片通孔被直接电连接到VSS。
地址 美国纽约