发明名称 |
静电放电结构及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供具有与晶片通孔结构的连接的静电放电(ESD)结构及其制造方法。该结构包括被串联电连接到晶片通孔的静电放电(ESD)网络。更具体地,ESD电路包括接合衬垫和位于该接合衬垫下方的ESD网络。该ESD电路还包括晶片通孔结构,该晶片通孔结构被直接串联电连接到ESD网络且还被电连接到VSS。 |
申请公布号 |
CN101930973B |
申请公布日期 |
2013.03.27 |
申请号 |
CN201010198536.0 |
申请日期 |
2010.06.07 |
申请人 |
国际商业机器公司 |
发明人 |
E·G·盖布里斯莱希;S·H·沃尔德曼 |
分类号 |
H01L27/02(2006.01)I;H01L23/60(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京市中咨律师事务所 11247 |
代理人 |
于静;杨晓光 |
主权项 |
一种静电放电结构,包括静电放电网络且被串联电连接到晶片通孔,其中所述静电放电网络包括位于接合衬垫下方的电感线圈,所述电感线圈具有小于10欧姆的电阻且被构造为承载1安培到10安培的电流,其中所述晶片通孔被直接电连接到VSS。 |
地址 |
美国纽约 |