发明名称 |
半导体器件及其制造方法、液晶电视、和EL电视 |
摘要 |
半导体器件及其制造方法、液晶电视、和EL电视本发明的目的是提供一种制造具有能够降低成本和提高产量并具有微结构的半导体元件的半导体器件的方法,进而,提供制造液晶电视和EL电视的方法。根据本发明的一个特征,制造半导体器件的方法包括如下步骤:在衬底上方形成光吸收层,通过使用溶液在光吸收层上方形成第一区域,通过用激光照射光吸收层来产生热量,以及通过用热量加热第一区域形成第一膜图案。 |
申请公布号 |
CN1700417B |
申请公布日期 |
2013.03.27 |
申请号 |
CN200510069742.0 |
申请日期 |
2005.03.03 |
申请人 |
株式会社半导体能源研究所 |
发明人 |
城口裕子;山本良明 |
分类号 |
H01L21/77(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/77(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
吴立明;梁永 |
主权项 |
一种制造半导体器件的方法,包括:在衬底上方形成光吸收层;通过使用喷墨法在所述光吸收层上选择性地形成包括导体的第一区域;通过用激光照射所述光吸收层来产生热量;将所述热量传导到所述第一区域以改变所述第一区域;以及除去所述热量未传导到的区域,以形成第一导电膜图案。 |
地址 |
日本神奈川县 |