测距器及化学气相沉积设备

摘要

本实用新型提出一种测距器及化学气相沉积设备，其有益效果主要体现在：测距器内体和外体顶端间的高度差可以通过内体和外体的卡位部件相互配合，被很好地维持住，从而能够提高测距器测得的两物体之间的距离精度，如化学气相沉积设备中喷淋头和加热器，减少测量误差；并且内与外体之间的复位弹簧可以使得测距器复位，方便多次测量。

主权项

一种测距器，其特征在于，包括： 一外体，所述外体带有一空腔，内壁上设有卡位部件； 一内体，外表面设有与所述外体卡位部件的相匹配的卡位部件，所述内体下端通过外表面的卡位部件卡接所述外体卡位部件固定在所述空腔的内部。