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发明名称
摘要
申请公布号
JP5170077(B2)
申请公布日期
2013.03.27
申请号
JP20090502494
申请日期
2008.02.15
申请人
发明人
分类号
H01L21/027;G03F7/20;H01L21/68
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
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