大尺寸蓝宝石单晶生长炉用坩埚盖

摘要

本发明提供了一种大尺寸蓝宝石单晶生长炉用坩埚盖，它采用圆形多层钼片制成，多层钼片上开有圆形中心孔，中心孔直径由上到下逐渐变小，多层钼片采用多组钼螺栓和配套钼螺母连接并固定，多层钼片间通过钼螺母隔开。本发明通过合理设计钼片层数、厚度、间距、中心孔尺寸分布等，有利于形成均匀稳定的温场，同时在合理控制成本的基础上，制得的坩埚盖具有一定的结构强度和较长的使用寿命。

主权项

一种大尺寸蓝宝石单晶生长炉用坩埚盖，其特征在于它采用圆形多层钼片制成，多层钼片上开有圆形中心孔，中心孔直径由上到下逐渐变小，多层钼片采用多组钼螺栓和配套钼螺母连接并固定，多层钼片间通过钼螺母隔开。