电路布局的调整方法

摘要

本发明提供了一种电路布局的调整方法，包括提供布局图形的步骤，所述的布局图形包括具有交叠区域的压应力膜图形和拉应力膜图形，以及在所述交叠区域的接触孔图形，所述交叠区域的边界包括相对的压应力膜图形边界和拉应力膜图形边界，其特征在于，还包括下述步骤：调整所述交叠区域的压应力膜图形边界或拉应力膜图形边界，以使接触孔图形仅在调整后的压应力膜图形区域或仅在调整后的拉应力膜图形区域，从而提高互连插塞的性能。

主权项

一种电路布局的调整方法，包括提供布局图形的步骤，所述的布局图形包括具有交叠区域的压应力膜图形和拉应力膜图形，以及在所述交叠区域的接触孔图形，所述交叠区域的边界包括相对的压应力膜图形边界和拉应力膜图形边界，所述接触孔图形具有与交叠区域的边界相对的相对边界，其特征在于，还包括下述步骤：调整所述交叠区域的压应力膜图形边界或拉应力膜图形边界，以使接触孔图形仅在调整后的压应力膜图形区域或仅在调整后的拉应力膜图形区域；其中，若只有所述交叠区域的拉应力膜图形边界穿过所述接触孔图形，则调整所述拉应力膜图形边界，所述调整所述拉应力膜图形边界为：将部分拉应力膜图形边界朝向所述压应力膜图形边界调整至与所述接触孔图形的相对边界交叠，或者与所述压应力膜图形边界交叠，或者至所述接触孔图形的相对边界与压应力膜图形边界之间，所述部分拉应力膜图形边界是指所述拉应力膜图形边界的与所述接触孔图形的相对边界相对的部分及沿所述相对的部分向两边延伸特定长度的部分；若只有所述交叠区域的压应力膜图形边界穿过所述接触孔图形，则调整所述压应力膜图形边界，所述调整所述压应力膜图形边界为：将部分压应力膜图形边界朝向所述拉应力膜图形边界调整至与所述接触孔图形的相对边界交叠，或者与所述拉应力膜图形边界交叠，或者至所述接触孔图形的相对边界与拉应力膜图形边界之间，所述部分压应力膜图形边界是指所述压应力膜图形边界的与所述接触孔图形的相对边界相对的部分及沿所述相对的部分向两边延伸特定长度的部分。