| 摘要 |
Установка для разделения и подготовки хлористого водорода и хлорсиланов технологической линии производства поликристаллического кремния, содержащая ректификационную колонну, верхняя часть которой сообщена через дефлегматор со сборником флегмы, на выходе из которого установлен насос, выход которого сообщается с верхней частью ректификационной колонны и с накопителем хлористого водорода, а также систему трубопроводов с запорно-регулирующей арматурой, отличающаяся тем, что установка снабжена испарителем хлористого водорода и двумя конденсаторами хлористого водорода, первый из которых сообщен с накопителем хлористого водорода, а второй сообщен с испарителем хлористого водорода, при этом нижняя часть испарителя соединена посредством трубопровода с накопителем хлористого водорода и дополнительными трубопроводами со входом насоса и с дефлегматором. |
