| 发明名称 | 结构的光学计量的材料光学特性的确定 | ||
| 摘要 | 描述了确定结构的光学计量的材料光学特性的方法。一种方法包括基于两个或更多个方位角和基于一个或多个入射角来模拟光栅结构的衍射级的集合。然后基于衍射级的集合提供模拟的光谱。另一种方法包括基于两个或更多个入射角来模拟光栅结构的衍射级的集合。然后基于衍射级的集合提供模拟的光谱。 | ||
| 申请公布号 | CN103003681A | 申请公布日期 | 2013.03.27 |
| 申请号 | CN201180022825.8 | 申请日期 | 2011.05.02 |
| 申请人 | 克拉-坦科股份有限公司;东京毅力科创株式会社 | 发明人 | J·M·马德森;杨卫东 |
| 分类号 | G01M11/02(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人 | 南毅宁;陈潇潇 |
| 主权项 | 一种用于确定一结构的光学计量的材料光学特性的方法，该方法包括：基于两个或更多个方位角和基于一个或多个入射角来模拟光栅结构的衍射级的集合；以及基于所述衍射级的集合提供模拟的光谱。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||