一种准分子激光器环形腔调节装置和方法

摘要

本发明属于准分子激光技术领域，提供了一种准分子激光器环形腔调节装置和方法。所述装置包括参考光源，用于产生校准所用参考光束；反射镜，小孔光阑和屏。所述方法尤其适用于环形腔调节参考光与准分子激光同轴方法。该方法以放电腔在两密封窗口外的荧光光斑中心为基准确定放电腔光轴位置，通过调整环形腔内两面反射镜来使参考光绕环形腔一周后与其刚进入耦合镜的二次反射光在近点与远点光斑重合，从而实现准分子激光器环形腔腔体的调整。本发明克服了传统方法的局限性，将环形腔的调节简化为腔外两光束重合的调节，调节精度高，不需要拆除密封窗口，不需要额外的测量仪器，操作简单。

主权项

一种准分子激光器环形腔调节装置，激光器环形腔包括放电腔(7)、耦合镜(1)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)和第三反射镜(6)，其特征在于，该装置包括参考光源(8)、第四反射镜(9)、第五反射镜(10)、小孔光阑(11)和屏(12)；参考光源(8)位于激光器环形腔的耦合镜(1)的外侧，第四反射镜(9)和第五反射镜(10)均位于参考光源(8)与所述耦合镜(1)之间光路上，在参考光源(8)所发射的参考光在耦合镜(1)反射光所形成的光路上放置有所述小孔光阑(11)和屏(12)；调整第四反射镜(9)、第五反射镜(10)，以及第二反射镜(5)和第三反射镜(6)的位置使环形腔内各部件所形成的光路为闭合光路，且该闭合光路为矩形或平行四边形。