发明名称 除油装置以及研磨液搅拌装置
摘要 本实用新型提出一种除油装置以及研磨液搅拌装置,所述除油装置用于去除研磨液搅拌装置的油渍,通过添加第一遮挡盘遮挡住搅拌马达泄露出的油渍,通过添加第二遮挡盘遮挡住研磨液缸的开口,并连接一油管排走第二遮挡盘的油渍,从而避免油渍落入研磨液缸中污染研磨液。
申请公布号 CN202823221U 申请公布日期 2013.03.27
申请号 CN201220521264.8 申请日期 2012.10.11
申请人 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 发明人 沈叶舟
分类号 B01F7/16(2006.01)I;B01F15/00(2006.01)I 主分类号 B01F7/16(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种除油装置,用于去除研磨液搅拌装置的油渍,所述研磨液搅拌装置包括:搅拌马达、搅拌棒以及研磨液缸,所述研磨液缸设有一开口;其特征在于,所述除油装置包括:第一遮挡盘、第二遮挡盘和油管,所述第一遮挡盘设有一第一开孔,所述第二遮挡盘设有一第二开孔;所述第二遮挡盘的尺寸大于所述第一遮挡盘的尺寸,所述搅拌棒穿过所述第一开孔和第二开孔伸入到所述研磨液缸,所述第一遮挡盘与所述搅拌棒连接并随所述搅拌棒转动,所述第二遮挡盘固定于所述研磨液缸的开口上,所述油管与所述第二遮挡盘连通。
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