发明名称 |
除油装置以及研磨液搅拌装置 |
摘要 |
本实用新型提出一种除油装置以及研磨液搅拌装置,所述除油装置用于去除研磨液搅拌装置的油渍,通过添加第一遮挡盘遮挡住搅拌马达泄露出的油渍,通过添加第二遮挡盘遮挡住研磨液缸的开口,并连接一油管排走第二遮挡盘的油渍,从而避免油渍落入研磨液缸中污染研磨液。 |
申请公布号 |
CN202823221U |
申请公布日期 |
2013.03.27 |
申请号 |
CN201220521264.8 |
申请日期 |
2012.10.11 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
发明人 |
沈叶舟 |
分类号 |
B01F7/16(2006.01)I;B01F15/00(2006.01)I |
主分类号 |
B01F7/16(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种除油装置,用于去除研磨液搅拌装置的油渍,所述研磨液搅拌装置包括:搅拌马达、搅拌棒以及研磨液缸,所述研磨液缸设有一开口;其特征在于,所述除油装置包括:第一遮挡盘、第二遮挡盘和油管,所述第一遮挡盘设有一第一开孔,所述第二遮挡盘设有一第二开孔;所述第二遮挡盘的尺寸大于所述第一遮挡盘的尺寸,所述搅拌棒穿过所述第一开孔和第二开孔伸入到所述研磨液缸,所述第一遮挡盘与所述搅拌棒连接并随所述搅拌棒转动,所述第二遮挡盘固定于所述研磨液缸的开口上,所述油管与所述第二遮挡盘连通。 |
地址 |
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 |