发明名称 SUBSTRATE STORAGE CONTAINER AND METHOD OF PRODUCING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1883105(B8) 申请公布日期 2013.03.27
申请号 EP20060732201 申请日期 2006.04.21
申请人 SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD. 发明人 HOSOI, MASATO
分类号 H01L21/673;B65D85/86 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利