基于电子天平的硅片自动计片装置

摘要

本发明公开了一种基于电子天平的硅片自动计片装置，包括电子天平，所述电子天平包括输入及显示面板，电子天平内设有内部信号处理装置，输入及显示面板上设有数值输入装置、硅片厚度选择及显示装置、硅片规格选择装置，硅片尺寸选择装置，计量结果显示装置，计量结果显示装置上设有“重量”显示面板、“片数”显示面板，内部信号处理装置根据数值输入装置、硅片厚度选择及显示装置、硅片规格选择装置及硅片尺寸选择装置的输入进行处理并在“重量”显示面板及“片数”显示面板上显示硅片重量及片数计量结果。本发明基于一般的电子天平进行开发，能够高效实现硅片点片计数，具有方便、实用、廉价的优点。

主权项

基于电子天平的硅片自动计片装置，包括电子天平，所述电子天平包括输入及显示面板（5），电子天平内设有内部信号处理装置（10），其特征在于：所述输入及显示面板（5）上设有数值输入装置（13）、硅片厚度选择及显示装置（14）、硅片规格选择装置（17），硅片尺寸选择装置（15），计量结果显示装置（11），所述计量结果显示装置（11）上设有“重量”显示面板、“片数”显示面板，所述内部信号处理装置根据数值输入装置（13）、硅片厚度选择及显示装置（14）、硅片规格选择装置（17）及硅片尺寸选择装置（15）的输入进行处理并在“重量”显示面板及“片数”显示面板上显示硅片重量及片数计量结果。