用于电测量基于MEMS的显示器的电驱动参数的测量和设备

摘要

本发明揭示用以测量MEMS装置的阈值电压的方法和装置。所述阈值电压是基于使所述装置改变状态的测试电压。通过监视用于驱动所述测试电压的经积分的电流或电荷来检测所述装置的状态改变。

主权项

一种测量微机电系统装置的阈值电压的方法，所述方法包含：将多个电压转变施加到所述装置且感测在一个或一个以上转变期间施加到所述装置的电荷量；基于所述所感测的电荷量来确定所述一个或一个以上转变中的每一者是否改变所述装置的状态；以及至少部分基于导致状态改变的转变来确定所述阈值电压。