POSITIVE RESIST COMPOSITION AND METHOD OF FORMING RESIST PATTERN,申请号EP20020788697-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	POSITIVE RESIST COMPOSITION AND METHOD OF FORMING RESIST PATTERN
摘要
申请公布号	EP1452919(B1)	申请公布日期	2013.03.27
申请号	EP20020788697	申请日期	2002.11.29
申请人	TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.	发明人	HADA, HIDEO;FUJIMURA, SATOSHI;IWASHITA, JUN
分类号	G03F7/039;C08F220/18;C08F220/28;H01L21/027	主分类号	G03F7/039
代理机构		代理人
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