等离子体产生装置

摘要

一种等离子体产生装置包括：一腔室，其具有一腔室盖并界定一气密反应区域；一在所述腔室中的基座；一气体供应构件，其将一制程气体供应到所述腔室；和一环形铁芯，其穿过所述腔室盖相对于所述基座垂直设置，所述环形铁芯包含：一与所述腔室相组合的环形铁磁芯，所述环形铁磁芯具有一在所述腔室外的第一部分和一在所述腔室内的第二部分，所述第二部分具有一开口部分；一连接到所述腔室的射频(RF)电源；一电连接到所述RF电源的感应线圈，所述感应线圈卷绕所述第一部分；和一匹配电路，其匹配所述RF电源与所述感应线圈之间的一阻抗。

主权项

一种等离子体产生装置，其包含：一用于产生等离子体的腔室，其具有一腔室盖并界定一气密反应区域；一在所述腔室中的基座；一气体供应构件，其用于将一制程气体供应到所述腔室；一环形铁芯，其穿过所述腔室盖相对于所述基座垂直设置，其包含：一与所述腔室相组合的环形铁磁芯，所述环形铁磁芯具有一在所述腔室外的第一部分和一在所述腔室内的第二部分，所述第二部分具有一开口部分；一连接到所述腔室的射频RF电源；一电连接到所述射频RF电源的感应线圈，所述感应线圈卷绕所述第一部分；和一匹配电路，其用于匹配所述射频RF电源与所述感应线圈之间的一阻抗；一等离子体检查单元，其测量所述腔室中的一等离子体参数；一反馈控制单元，其根据所述等离子体参数的一信息控制所述射频RF电源和所述匹配电路中的一者以控制传输到所述环形铁磁芯的一射频RF功率；和一旋转驱动单元，其以一预定角度旋转所述环形铁磁芯且由所述反馈控制单元控制。