硅粉真空压实装置及其方法

摘要

本发明涉及一种硅粉真空压实装置及其方法，该硅粉真空压实装置，包括可抽真空容器，在可抽真空容器上设置进气阀和抽真空阀，硅粉放置在可抽真空容器内。利用该装置进行压实的方法为：首先将硅粉装入可抽真空容器内，然后真空泵通过抽真空阀将可抽真空容器抽真空，抽真空后打开进气阀，硅粉经过真空及气体吹压得到压实。本发明提供的技术方案是在原有单晶炉的基础上增设的，与传统的机械直接接触式压实相比，该硅粉压实装置既可让硅粉得到充分利用，又避免了硅料的再污染，且该装置加工成本低、操作简单。

主权项

一种硅粉真空压实装置，其特征是：包括可抽真空容器，在可抽真空容器上设置进气阀(4‑2)和抽真空阀(4‑3)； 所述的可抽真空容器包括外壳(1)及其上盖(4)，上盖(4)盖在外壳(1)上； 所述的上盖(4)和外壳(1)之间通过多个紧固压脚(6)彼此固定连接，上盖(4)和外壳(1)之间的密封面设置密封垫(7)； 所述的硅粉(8)放置在石英坩埚(3)内，石英坩埚(3)放置在可抽真空容器中； 所述的可抽真空容器内设置基座(2)，石英坩埚(3)安放在基座(2)内； 所述的基座(2)由两个半环部件(2‑1)组装而成，两个半环部件(2‑1)之间通过紧固压脚(6)连接成一体，所述的石英坩埚(3)与基座(2)之间设置衬板(5)。