用于真空应用的机器人

摘要

一种在光刻设备的真空室内定位工件的机器人。机器人的第一部件位于真空室内用以沿平移轴线定位工件。轴支撑第一部件，使得轴的对称轴线垂直于平移轴线，并且第二部件围绕对称轴线平移轴并沿平行于对称轴线的方向移动轴。第二部件包括：气体轴承，配置成沿轴的圆周表面引入气体；和除气轴承，配置成排空由所述第二部件气体轴承引入的气体。机器人基本上减少或消除碳氢化合物分子的脱气至0～200a.m.u.的范围，从而使得机器人适于用在极紫外(EUV)光学光刻设备中。

主权项

一种用于在真空中定位工件的机器人，包括：第一部件，至少部分地位于真空室内并配置成沿平移轴线定位工件，所述工件位于真空内；轴，配置成支撑第一部件使得所述轴的对称轴线垂直于所述平移轴线；和第二部件，定位在真空室的外部并且配置成（i）围绕所述对称轴线旋转所述轴和（ii）沿平行于所述对称轴线的方向移动所述轴，其中所述第二部件包括：第二部件气体轴承，配置成沿所述轴的圆周表面引入气体；和除气密封件，配置成排空由所述第二部件气体轴承引入的气体，其中所述第一部件包括：细长构件，配置成在第一端上支撑工件；致动器，配置成沿所述平移轴线驱动所述细长构件以定位所述工件；和第一部件轴承，配置成在沿所述平移轴线移动期间作用到所述细长构件的表面上，所述第一部件轴承是润滑轴承，其中所述第一部件还包括包围所述细长构件的挠性波纹管、以基本上减少进入到真空室内的所述润滑轴承的脱气。