用于散射仪的双光束设置

摘要

提供了一种具有双光束设置的散射仪或二次散射仪和使用其的方法，以产生光学参数测量值。双光束二次散射仪包括在底部由基底(320)密封的半球形穹面外壳(318)。辐射源(302)分成两个光束产生辐射：用于照明样本表面(308)的照明光束(304)和用于提供与照明光束(304)有关的光学特征信息的校准光束(330)。经由分立的光路将每个光束引导到半球形穹面外壳(318)之内。定位光学成像装置(324)以获取由被照明光束(304)照明的样本表面(308)散射的散射辐射(314)的图像，并同时获取校准光束的图像。在分析散射辐射数据时，利用校准光束图像补偿辐射源(302)的光输出的变化。

主权项

一种用于表征样本表面(308)的光学外观的设备(300)，所述设备(300)包括：上部外壳(318)，其具有顶表面上中心位置处的第一孔隙(310)、形成于从所述第一孔隙(310)偏移的位置处的第二孔隙(326)以及形成于所述上部外壳(318)的底部位置处并垂直于所述第一孔隙(310)的第三孔隙(332)，所述上部外壳(318)具有被配置成投影屏(316)的内表面；被配置并定位成支撑所述上部外壳(318)的基底(320)，所述基底(320)和所述上部外壳(318)形成封闭体积(312)，并且所述基底(320)具有与所述第一孔隙(310)相对定位的开口(322)，使得当靠着所述基底(320)的外表面定位所述样本表面(308)时，通过所述第一孔隙(310)和所述开口(322)可以看见所述样本表面(308)的至少一部分；辅助反射镜(328)，其设置在所述基底(320)的内表面上，并与所述第二孔隙(326)和所述第三孔隙(332)光学相通；位于所述封闭体积(312)之外的辐射源(302)；由所述辐射源(302)产生的第一辐射束(304)，所述第一辐射束(304)被沿着第一光路引导，所述第一光路始于所述辐射源(302)，经过所述第一孔隙(310)、所述开口(322)并以一入射角终止于所述样本表面(308)；光学成像装置(324)，位于所述封闭体积(312)之外，并与所述第二孔隙(326)和所述辅助反射镜(328)光学相通；以及由所述辐射源(302)在发射所述第一辐射束(304)的同时发射的第二辐射束(330)，所述第二辐射束(330)被沿着第二光路引导，所述第二光路始于所述辐射源(302)，通过所述第三孔隙(332)进入所述封闭体积(312)，在由所述辅助反射镜(328)反射之后在不到达所述样品表面(308)的情况下通过所述第二孔隙(326)重新定向并终止于所述光学成像装置(324)，其中，表示所述第二辐射束(330)的数据用于补偿所述辐射源(302)的光学性质的变化。