一种能实现双向流动的超声流微泵

摘要

本发明涉及一种能实现双向流动的超声流微泵，它由多个声流微泵单元串接而成，每个声流微泵单元的流体腔包括入口腔、出口腔、声流腔和回流腔四部分形成H形腔体结构，其中入口腔、回流腔在水平方向相接，相接处垂直连接声流腔，声流腔顶端垂直连接出口腔，每个声流微泵单元的声流腔正对一个压电片，压电片置于正对声流腔的管道底侧位置，压电片连接压电驱动器，多个声流微泵单元的流体腔相连通。本发明微泵不需要压力腔，无活动部件，可靠性高；易于制造；对悬浮粒子损伤小；工作电压低；发热低；对所传输的液体/气体类型没有限制，可用于传输包含DNA及其它生物试样的液体等。

主权项

一种能实现双向流动的超声流微泵，其特征是，它由多个声流微泵单元串接而成，每个声流微泵单元的流体腔包括入口腔、出口腔、声流腔和回流腔四部分形成H形腔体结构，其中入口腔、回流腔在水平方向相接，相接处垂直连接声流腔，声流腔顶端垂直连接出口腔，每个声流微泵单元的声流腔正对一个压电片，压电片置于正对声流腔的管道底侧位置，压电片连接压电驱动器，多个声流微泵单元的流体腔相连通。