发明名称 清洗方法
摘要 本发明为一种能够高效地将UV树脂剥取的、使用了干冰颗粒的清洗方法。本发明的清洗方法是,相对于固定在固定夹具上的清洗对象物,使用干燥空气来喷射干冰颗粒,而对所述对象物的表面进行清洗的方法。干燥空气的露点为-60℃至-80℃。具有将干燥空气和干冰颗粒向清洗对象物的表面喷射的喷嘴,喷嘴与清洗对象物的表面之间的间隔为5mm至70mm。喷嘴的截面形状为圆形,或者为椭圆形,或者为长方形。
申请公布号 CN102989719A 申请公布日期 2013.03.27
申请号 CN201210345435.0 申请日期 2012.09.12
申请人 株式会社日本显示器东 发明人 中川惠美子;小林节郎;田边伸二
分类号 B08B7/00(2006.01)I 主分类号 B08B7/00(2006.01)I
代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 陈伟
主权项 一种清洗方法,对固定在固定夹具上的清洗对象物进行清洗,其特征在于,使用干燥空气,将干冰颗粒向所述清洗对象物的表面喷射,而对所述对象物的表面进行清洗。
地址 日本千叶县