| 摘要 |
1. Течеискатель для работы методом щупа со шлангом щупа, соединенным со шлангом щупа через дроссель вакуумным насосом, и датчиком тестового газа, при этом выше по потоку от дросселя выполнена точка распределения, от которой к датчику тестового газа ведет отвод, отличающийся тем, что дроссель является диафрагмой с круглым отверстием, проводимость которой подобрана таким образом, что падение давления на диафрагме с круглым отверстием больше чем Р/2, при этом Рявляется промежуточным давлением в точке распределения.2. Течеискатель для работы методом щупа по п.1, отличающийся тем, что проводимость Lдиафрагмы с круглым отверстием меньше половины скорости (S) откачки вакуумного насоса.3. Течеискатель для работы методом щупа по п.1, отличающийся тем, что длина (L) диафрагмы с круглым отверстием меньше диаметра (D) отверстия.4. Течеискатель для работы методом щупа по п.1, отличающийся тем, что датчик тестового газа является датчиком парциального давления.5. Течеискатель для работы методом щупа по п.1, отличающийся тем, что датчик тестового газа является масс-спектрометром. |
