| 摘要 |
Oppfinnelsen tilveiebringer en reaktor for fremstilling av silisium ved kjemisk dampavsetning (CVD), reaktoren omfatter et reaktorvolum som kan roteres rundt en akse ved hjelp av en rotasjonsinnretning operativt anordnet til reaktoren, minst en sidevegg som omslutter reaktorvolumet, minst ett innløp for reaksjonsgass, minst ett utløp for restgass og minst en varmeinnretning operativt anordnet til reaktoren. Reaktoren særpreges ved at den, under drift for fremstilling av silisium ved CVD, omfatter et sjikt av partikler på innsiden av den minst ene sidevegg. |
