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发明名称
Procédé pour l'obtention d'un dépôt par pulvérisation cathodique
摘要
申请公布号
CH473908(A)
申请公布日期
1969.06.15
申请号
CH19680009187
申请日期
1968.06.20
申请人
SOCIETE ALSACIENNE DE CONSTRUCTIONS ATOMIQUES DE TELECOMMUNICATIONS ET D'ELECTRONIQUE "ALCATEL"
发明人
RENE BESSOT,JEAN-JACQUES;ANDRE BURLURUT,JEAN-CLAUDE
分类号
C23C14/35;C23C14/46;(IPC1-7):C23C15/00
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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