接触式传感器、接触式传感器系统和检测接触的方法

摘要

本发明涉及接触式传感器、接触式传感器系统和检测接触的方法。接触式传感器包括能够传播声波的衬底并且包括具有接触灵敏区的第一表面。第一侧壁沿着第一边缘和第一表面相交。第一边缘配置为沿着第一边缘传播第一声波。第一声波可以是一维边缘波。波转换器将第一声波转换为第二声波并且第一表面配置为传播第二声波横过接触灵敏区。

主权项

一种在接触式传感器中产生或接收声边缘波的切变模式换能器，该接触式传感器具有衬底，该衬底具有含有接触区的第一表面以及沿着第一边缘和第一表面相交的第二表面，该声边缘波沿着第一边缘传播，被装配在衬底上的该切变模式换能器在第二表面上，该切变模式换能器包括：切变模式压电元件，所述切变模式压电元件在相对于X和Y轴定义的第二表面的平面的方向中提供切变运动以便耦合到声边缘波；以及第一电极和第二电极，其被布置在切变模式压电元件上以提供切变模式压电元件的有效区域，所述有效区域包括声边缘波的横截面积。