红外线检测元件、其制造方法及电子设备

摘要

提供一种红外线检测元件、红外线检测元件的制造方法及电子设备。该红外线检测元件中，设置有红外线检测部的支撑部位于与凹部相对的位置，能够防止支撑部贴附于凹部底部。该红外线检测元件包括：基板（2）；绝缘膜（14），设置在基板（2）上，且包括包围空隙（17）的凹部（15）；支撑部（23），该支撑部（23）由一端固定于基板（2）的梁（22）保持，且位于与空隙（17）相对的位置；以及红外线检测部（4），设置在支撑部（23）上，用于检测红外线，其中凹部（15）被含有多晶硅的防水膜（16）覆盖，梁（22）以及支撑部（23）含有氮化硅或碳氮化硅。

主权项

一种红外线检测元件，其特征在于，包括：基板；绝缘膜，所述绝缘膜设置在所述基板上且包括凹部；支撑部，所述支撑部由一端固定于所述绝缘膜的梁保持，且隔着空隙位于所述凹部上方；以及红外线检测部，所述红外线检测部设置在所述支撑部上，用于检测红外线，所述凹部被含有多晶硅的防水膜覆盖，所述梁以及所述支撑部含有氮化硅或碳氮化硅。