氯硅烷精馏过程中氯硅烷废气、废液回收工艺

摘要

本发明涉及一种氯硅烷精馏提纯系统中含氯硅烷气体的废气、废液回收工艺。它将氯硅烷精馏提纯系统中产生的含有氯硅烷的废气经过换热器，用5-20M3/h，零下20℃的乙二醇作为冷冻源在1-2公斤的压力条件下将废气中的DCS、BCL3分离出去，将冷凝下来的氯硅烷液体和氯硅烷精馏提纯系统内产生的废液混合后送入筛板精馏塔，用蒸汽加热，在1-2公斤的压力和精馏塔釜温度在80-100℃的条件下将PCL3、ALCL3通过塔釜分离出去。本发明不影响系统的正常运行和产品的质量，最大限度的回收废气、废液中的三氯氢硅和四氯化硅，大幅度降低生产成本，同时大大降低了后续系统对废气、废液处理的难度。本发明在实际应用中氯硅烷精馏提纯系统中废气、废液中三氯氢硅和四氯化硅的再次回收率达到了80％以上，处理效果较好。

主权项

一种氯硅烷精馏提纯系统中含氯硅烷气体的废气、废液回收工艺，其特征在于：将氯硅烷精馏提纯系统中产生的废气经过换热器，用5‑20M3/h，零下20℃的乙二醇作为冷冻源在1‑2公斤的压力条件下将废气中的DCS、BCL3分离出去，将冷凝下来的氯硅烷液体和氯硅烷精馏提纯系统内产生的废液混合后送入筛板精馏塔，用蒸汽加热，在1‑2公斤的压力和精馏塔釜温度在80‑100℃的条件下将PCL3、ALCL3通过塔釜分离出去。