基板清洗装置

摘要

本实用新型所提供一种基板清洗装置，包括：用于为基板表面清洗工艺提供作业空间的清洗箱，清洗箱包括用于将作业空间与外部隔开的挡板，挡板上设有过孔；用于在基板表面接触并旋转，以清洗基板表面的清洗刷，设置于清洗箱的内部；用于带动清洗刷旋转的传动轴，一端通过过孔伸出清洗箱外，另一端与清洗箱内部的清洗刷连接；用于阻止清洗箱内部的液体从挡板上的过孔流出的阻止机构，设于挡板的过孔处。本实用新型的基板清理装置在清洗槽的挡板的过孔处设置阻止机构，阻止玻璃表面的液体沿着传动轴从清洗槽的挡板的过孔处流出至清洗槽外，保证传动轴和马达连接部位在干燥环境中运行，保证设备运行稳定性，提高设备寿命。

主权项

一种基板清洗装置，包括：用于为基板表面清洗提供作业空间的清洗箱，所述清洗箱包括用于将所述作业空间与外部隔开的挡板，所述挡板上设有过孔；位于所述清洗箱内部、与基板表面接触并旋转以清洗基板表面的清洗刷；用于带动所述清洗刷旋转的传动轴，所述传动轴的一端通过所述过孔伸出所述挡板外，另一端与所述清洗刷连接；其特征在于，所述基板清洗装置还包括：用于阻止所述清洗箱内部的液体从所述挡板上的过孔流出的阻止机构，设于所述挡板的过孔处。