激光加工装置

摘要

本发明的激光加工装置具有：卡盘台；激光光线照射构件；加工进给构件；X轴方向位置检测构件，其检测卡盘台移动位置；以及控制构件，激光光线照射构件具有：脉冲激光光线振荡构件；聚光器，其具有对脉冲激光光线进行会聚而照射到保持在卡盘台上的被加工物的聚光透镜；以及压电电机，其使聚光器与Z轴方向成规定角度（α）来位移，控制构件针对脉冲激光光线的重复频率，控制在压电电机上施加的高频电流的频率和电压，在将卡盘台在X轴方向上加工进给时，通过在将聚光器在X轴方向上移动Δx并在Z轴方向上移动Δz，使通过聚光透镜聚光的脉冲激光光线的聚光点在保持在卡盘台上的被加工物的规定区域的厚度方向上位移。

主权项

一种激光加工装置，其具有：卡盘台，其保持被加工物；激光光线照射构件，其照射相对于该卡盘台所保持的被加工物具有透过性的波长的脉冲激光光线；加工进给构件，其对该卡盘台和该激光光线照射构件在加工进给方向（X轴方向）上进行相对的加工进给；X轴方向位置检测构件，其检测由该加工进给构件进行加工进给所致的该卡盘台的X位置；以及控制构件，其根据来自该X轴方向位置检测构件的检测信号来控制该激光光线照射构件，该激光加工装置的特征在于，该激光光线照射构件具有：脉冲激光光线振荡构件；聚光器，其具有聚光透镜，该聚光透镜对该脉冲激光光线振荡构件振荡出的脉冲激光光线进行会聚而照射到该卡盘台所保持的被加工物上；以及压电电机，其使该聚光器与聚光透镜的光轴（Z轴方向）成规定角度（α）来位移，该控制构件针对脉冲激光光线的重复频率，控制施加给该压电电机的高频电流的频率和电压，在对卡盘台在X轴方向上加工进给时，将该聚光器在X轴方向上移动Δx并在Z轴方向上移动Δz，从而使通过该聚光透镜会聚的脉冲激光光线的聚光点在该卡盘台所保持的被加工物的规定区域的厚度方向上位移。