一种用惰性气体保护法制备高品质AZO靶材的方法

摘要

本发明介绍了一种用惰性气体保护法制备高品质AZO靶材的方法，使用纯度不低于99.9％的纳米氧化锌与纯度不低于99.99％的纳米氧化铝，氧化铝占总重量的1.0～5.0％，将混合物球磨掺杂，喷雾造粒，采用模压和冷等静压成型相结合的方式成型，最后在1200～1450℃的温度下进行惰性气体保护烧结，制备出AZO靶材。本发明可明显降低AZO靶材的烧结温度，有效抑制氧化锌的挥发，能在较低的温度下制备出高纯度、高密度且晶粒度细小的AZO靶材；制造工艺简单可控、生产成本低，易于实现连续化、规模化生产；特别利于制备大规格高品质的AZO靶材。

主权项

一种用惰性气体保护法制备高品质AZO靶材的方法，其特征是：该方法使用纯度不低于99.9％的纳米氧化锌与纯度不低于99.99％的纳米氧化铝，氧化铝的含量占氧化锌与氧化铝的总重量的1.0～5.0％，将氧化锌与氧化铝的混合物进行球磨机械掺杂，确保两者混合均匀，然后对球磨料浆进行喷雾造粒，采用模压和冷等静压成型相结合的方式进行成型，最后在1200～1450℃的温度下进行惰性气体保护烧结，烧结时间为4～16小时，制备出AZO靶材；具体步骤为：(1)按照要求的配比，将纯度不低于99.9％的纳米氧化锌粉末与纯度不低于99.99％的纳米氧化铝粉末进行球磨机械混合，球磨溶剂采用去离子水，球磨10～24h后，对料浆进行喷雾造粒，得到造粒粉；(2)对(1)制备的造粒粉先进行一次模压，压力10～15MPa，保压1～3min；然后再对其进行冷等静压成型，压力30～300MPa，保压3～5min，得到成型坯体；(3)对(2)步骤得到的成型坯体于110℃干燥48h后，在惰性气体保护气氛下加热到1200℃～1450℃，保温4～16h进行烧结。