利用单光栅外腔反馈实现多半导体激光合束的装置

摘要

本实用新型有关利用单光栅外腔反馈实现多半导体激光合束的装置，属于半导体激光技术领域，其半导体激光器模块与外腔反窥镜分别组成两个激光振荡腔，经由共同的光栅角色散作用和外腔反窥镜的反馈作用，从外腔反窥镜输出两束光束质量与单元光束相同、功率提高数倍的线偏振激光束，再经由偏振合束镜，实现高功率、高光束质量的单激光束输出。本实用新型可实现全半导体激光波段范围内的合束，合束波长间隔窄，具有输出激光功率高、光束质量好的优点，同时采用一个光栅实现多光束光谱合束，集成度高。

主权项

一种利用单光栅外腔反馈实现多半导体激光合束的装置，其特征在于包括：半导体激光器模块（1，1’），场镜（2，2’），光栅（3），外腔反窥镜（4，4’），半波片（5），反射镜组（61，62），偏振分光棱镜（7），其半导体激光器模块（1，1’）与外腔反窥镜（4，4’）分别组成两个激光振荡腔，其中：半导体激光器模块（1，1’）由半导体激光器（14）、快轴准直镜（15）和慢轴准直镜（16）组成；单元光束入射到光栅（3）的振动方向与光栅（3）要求的偏振方向相匹配；半导体激光器模块（1，1’）、场镜（2，2’）和光栅（3）的位置关系满足：半导体激光器模块（1，1’）和光栅（3）分别位于场镜（2，2’）的前后焦平面处。