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发明名称
METHOD FOR PREPARING CRYSTAL OF NITRIDE OF METAL BELONGING TO 13 GROUP OF PERIODIC TABLE AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号
EP1772540(B1)
申请公布日期
2013.03.27
申请号
EP20050757722
申请日期
2005.07.04
申请人
MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION
发明人
ARITA, YOJI;SEKI, YOSHINORI;TAHARA, TAKESHI;SATO, YUZURU
分类号
C30B29/38;C30B9/14;C30B29/40;H01L33/00;H01S5/323
主分类号
C30B29/38
代理机构
代理人
主权项
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