含有陀螺仪和加速计的微机电设备

摘要

本发明的实施例涉及一种含有陀螺仪和加速计的微机电设备。该微机电设备包括：支撑结构；两个感测质量体，根据第一轴和相应第二轴相对于所述支撑结构可移动；驱动设备，用于将感测质量体维持于相位相反的沿着第一轴的振荡；感测单元，用于供应感测信号，感测信号指示感测质量体分别根据相应第二轴的移位；处理部件，用于组合感测信号以便：在第一感测模式中放大感测质量体的协调移位对感测信号的影响并且衰减不协调移位的影响；并且在第二感测模式中放大感测质量体的不协调移位对感测信号的影响并且衰减协调移位的影响。

主权项

一种微机电设备，包括：支撑结构(12；112；212)；第一感测质量体(13a；113a；213a)和第二感测质量体(13b；113b；213b)，均根据第一轴(X；X，Y)并且各自根据与所述第一轴(X；X，Y)垂直的相应第二轴(Y；Ra，Rb；Y，X，Ra，Rb，Rc，Rd)相对于所述支撑结构(12；112；212)可移动；驱动设备(3)，配置成将所述第一感测质量体(13a；113a；213a)和所述第二感测质量体(13b；113b；213b)维持于相位相反的沿着所述第一轴(X；X，Y)的振荡；第一感测组和第二感测组(18；118；218，220)，配置成供应感测信号(S(Ca1)‑S(Cb2)；S(Ca1)‑S(Cd4))，所述感测信号(S(Ca1)‑S(Cb2)；S(Ca1)‑S(Cd4))指示所述第一感测质量体(13a；113a；213a)和所述第二感测质量体(13b；113b；213b)分别根据所述相应第二轴(Y；Ra，Rb；Y，X，Z，Ra，Rb，Rc，Rd)的移位；处理部件(7，8)，配置成在第一感测模式中和在第二感测模式中组合所述感测信号(SCa1‑SCb2；SCa1‑SCd4)以便：在所述第一感测模式中，放大所述第一感测质量体(13a；113a；213a)和所述第二感测质量体(13b；113b；213b)的协调移位对所述感测信号(S(Ca1)‑S(Cb2)；S(Ca1)‑S(Cd4))的影响并且衰减所述第一感测质量体(13a；113a；213a)和所述第二感测质量体(13b；113b；213b)的不协调移位的影响；并且在所述第二感测模式中，放大所述第一感测质量体(13a；113a；213a)和所述第二感测质量体(13b；113b；213b)的不协调移位对所述感测信号(S(Ca1)‑S(Cb2)；S(Ca1)‑S(Cd4))的影响并且衰减所述第一感测质量体(13a；113a；213a)和所述第二感测质量体(13b；113b；213b)的协调移位的影响。