主权项 |
1.一种真空或压力标准装置之间量值比对的方法,其特征在于:所述方法步骤如下:(1)启动第一抽气系统(1)和第二抽气系统(10),启动第一真空或压力标准装置(3)和第二真空或压力标准装置(8),打开第一真空阀门(2)、第四真空阀门(7)和第五真空阀门(9),启动零点指示器(6)至工作状态,对第一真空或压力标准装置(3)、零点指示器(6)和第二真空或压力标准装置(8)及其连接管道抽气;(2)当第一真空或压力标准装置(3)和第二真空或压力标准装置(8)抽至本底压力时,对第一真空或压力标准装置(3)和第二真空或压力标准装置(8)分别调零,并记录零点指示器(6)的零点示值p<sub>0</sub>;(3)通过第二真空或压力标准装置(8)的进气系统将其调节到目标压力点p<sub>t</sub>,同时通过第一真空或压力标准装置(3)的进气系统将其调节到与第二真空或压力标准装置(8)相同的压力点;(4)关闭第三真空阀门(5),打开第二真空阀门(4);(5)微调第一真空或压力标准装置(3)的进气系统,使得零点指示器(6)的示值和步骤(2)中零点示值p<sub>0</sub>有最小的偏离;(6)记录第一真空或压力标准装置(3)的示值p<sub>3</sub>、零点指示器(6)的示值p<sub>6</sub>和第二真空或压力标准装置(8)的示值p<sub>8</sub>;(7)重复步骤(3)~(6),共测量n组数据,其中n≥6;(8)关闭第二真空阀门(4),打开第三真空阀门(5);(9)关闭第一真空或压力标准装置(3)的进气系统和第二真空或压力标准装置(8)的进气系统,将第一真空或压力标准装置(3)与第二真空或压力标准装置(8)抽至本底压力;(10)当第一真空或压力标准装置(3)和第二真空或压力标准装置(8)抽至本底压力时,对第一真空或压力标准装置(3)和第二真空或压力标准装置(8)分别调零,并记录零点指示器(6)的零点示值p<sub>0</sub>′;(11)关闭第一真空阀门(2)、第三真空阀门(5)、第四真空阀门(7)和第五真空阀门(9);(12)关闭第一真空或压力标准装置(3)、第二真空或压力标准装置(8)和零点指示器(6);(13)数据处理及判定:如果0包含在<img file="FDA00002474365600021.GIF" wi="251" he="152" />范围内,说明两个真空或压力标准装置具有很好的一致性;反之,说明两个真空或压力标准装置不具有很好的一致性;其中p<sub>t</sub>为目标压力点,d为第一真空或压力标准装置(3)在所述目标压力点p<sub>t</sub>的平均偏差,u(d)为测量不确定度。 |