一种Z-θx-θy三自由度抗弯矩高精度工作台

摘要

一种Z-θx-θy三自由度抗弯矩高精度工作台，包括：压电陶瓷驱动器螺钉、压电陶瓷驱动器端盖、压电陶瓷驱动器端盖螺钉、压电陶瓷驱动器、外筒、工作台、弹性顶紧机构端盖、弹性顶紧机构端盖螺钉、弹性顶紧机构顶丝、弹性顶紧机构。本发明结构紧凑，可实现Z-θx-θy三自由度亚微米级精度的无耦合运动，并可承载一定弯矩载荷。

主权项

一种Z‑θx‑θy三自由度抗弯矩高精度工作台，其特征在于包括：压电陶瓷驱动器螺钉(1)、压电陶瓷驱动器端盖(2)、压电陶瓷驱动器端盖螺钉(3)、压电陶瓷驱动器(4)、圆筒(5)、圆形片工作台(6)、弹性顶紧机构端盖(7)、弹性顶紧机构端盖螺钉(8)、弹性顶紧机构顶丝(9)及弹性顶紧机构(10)；其中，在圆形片工作台(6)的一侧设有3支压电陶瓷驱动器(4)，压电陶瓷驱动器(4)为圆周均布，压电陶瓷驱动器(4)的工作端与圆形片工作台(6)紧密接触；压电陶瓷驱动器(4)的固定端通过压电陶瓷驱动器螺钉(1)与压电陶瓷驱动器端盖(2)紧密固定；圆形片工作台(6)的另一侧，与压电陶瓷驱动器(4)相对应的位置设有3支弹性顶紧机构(10)，每支弹性顶紧机构(10)通过弹性顶紧机构顶丝(9)定位在弹性顶紧机构端盖(7)上；压电陶瓷驱动器端盖(2)和弹性顶紧机构端盖(7)分别通过压电陶瓷驱动器端盖螺钉(3)和弹性顶紧机构端盖螺钉(8)与外筒(5)紧密固定；圆形片工作台(6)与圆筒(5)相接触面为球面，圆形片工作台(6)与圆筒(5)为微间隙配合。