石英坩埚加热涂层包装一体机

摘要

本发明公开了一种石英坩埚加热涂层包装一体机，包括石英坩埚的传输系统、以及按传输方向依次设有的加热系统、喷涂系统和包装系统；所述加热系统包括一个可密闭的加热间，加热间内设置有红外线加热管和用于恒定温度的温度感应器，所述喷涂系统包括一个可密闭的涂层间，涂层间内设置有可自动升降的旋转接头和喷嘴，所述包装系统由置于石英坩埚上方和侧方的负压吸附机械手组成，所述传输系统包括作为动力源的伺服电机、链轮、链条和传送带，所述链轮与链条连接，传送带安装在链条上。本发明设备可以有效的对石英坩埚进行加热，涂层并包装入库，大大节省了人工，提高工作效率，也有效的解决了坩埚涂层粉末粘结不牢的问题。

主权项

一种石英坩埚加热涂层包装一体机，其特征在于：包括石英坩埚的传输系统、以及按传输方向依次设有的加热系统、喷涂系统和包装系统；所述加热系统包括一个可密闭的加热间（1），加热间（1）内设置有红外线加热管（3）和用于恒定温度的温度感应器（4），所述喷涂系统包括一个可密闭的涂层间（2），涂层间（2）内设置有可自动升降的旋转接头（5）和喷嘴（6），所述包装系统由置于石英坩埚上方和侧方的负压吸附机械手（7）组成，所述传输系统包括作为动力源的伺服电机（8）、链轮（9）、链条（10）和传送带（11），所述链轮（9）与链条（10）连接，传送带（11）安装在链条（10）上。