清洁装置

摘要

本发明提供一种用于清洁混合蒸发器的清洁装置。所述混合蒸发器包括原料在其中流动通过的第一孔、载气在其中流动通过的第二孔、通过混合所述原料和所述载气产生混合气体的混合空间、被连接到所述第二孔用于将所述载气供应到所述混合空间的载气喷嘴以及排放所述混合气体的第三孔。所述清洁装置通过使得清洁溶液循环通过所述第一孔、所述第二孔和所述第三孔中的至少一个来清洁所述混合蒸发器。

主权项

一种清洁装置，包括：存储用于清洁混合蒸发器的清洁溶液的清洁溶液箱，其中，所述混合蒸发器包括原料在其中流动通过的第一孔、载气在其中流动通过的第二孔、通过混合所述原料和所述载气产生混合气体的混合空间、连接到所述第二孔用于将所述载气供应到所述混合空间的载气喷嘴以及排放所述混合气体的第三孔，去离子水箱，存储用于清洁所述混合蒸发器的去离子水；循环泵，使得所述清洁溶液或者所述去离子水在所述混合蒸发器中循环；以及选择构件，在循环所述清洁溶液时，所述选择构件连接所述循环泵和所述清洁溶液箱，用于使得从所述混合蒸发器排放的清洁溶液返回进入到所述清洁溶液箱，并且在循环去离子水时，所述选择构件连接所述循环泵和所述去离子水箱，用于使得从所述混合蒸发器排放的去离子水返回进入到所述去离子水箱。