发明名称 分体式结构碳/碳坩埚
摘要 一种分体式结构碳/碳坩埚,包括埚碗和埚筒且接触连接,其特征在于:所述埚碗在圆周方向上为多等份,所述埚筒由多层圆环组成,每层圆环分为多段且采用斜面接触连接。本实用新型的埚碗采用多等份,埚筒由多层圆环组成且每层圆环分为多段,当内部的石英坩埚形变时分散了石英坩埚对碳/碳坩埚的应力,提高了其使用寿命。
申请公布号 CN202830219U 申请公布日期 2013.03.27
申请号 CN201220504995.1 申请日期 2012.09.29
申请人 银川隆基硅材料有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司 发明人 杨少平;胡燕恒
分类号 C30B15/10(2006.01)I 主分类号 C30B15/10(2006.01)I
代理机构 西安弘理专利事务所 61214 代理人 罗笛
主权项 一种分体式结构碳/碳坩埚,包括埚碗(3)和至少一个埚筒且接触连接,其特征在于:所述埚碗(3)在圆周方向上为多等份,所述埚筒由多层圆环(4)组成,每层圆环(4)分为多段且采用斜面接触连接。
地址 750021 宁夏回族自治区银川市经济技术开发区开元东路15号